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首頁(yè) > 產(chǎn)品中心 > 臺(tái)階儀 > 半自動(dòng)臺(tái)階儀 > JS100B半自動(dòng)臺(tái)階儀
【產(chǎn)品概述】澤攸科技JS系列臺(tái)階儀作為國(guó)產(chǎn)高精度表面測(cè)量設(shè)備的代表，憑借其創(chuàng)新的技術(shù)架構(gòu)、靈活的應(yīng)用場(chǎng)景及可靠的測(cè)量性能，在半導(dǎo)體制造、材料科學(xué)、微納技術(shù)等領(lǐng)域展現(xiàn)了顯著優(yōu)勢(shì)。JS系列臺(tái)階儀通過(guò)金剛石探針與樣品表面的接觸掃描，將微觀輪廓的垂直位移轉(zhuǎn)化為電信號(hào)，結(jié)合高靈敏度傳感器與信號(hào)處理算法，實(shí)現(xiàn)納米級(jí)精度的表面特征捕捉。其核心技術(shù)亮點(diǎn)在于超微壓力恒定控制系統(tǒng).
產(chǎn)品型號(hào)：JS100B 更新時(shí)間：2025-03-13訪 問 量：5065廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家產(chǎn)品詳情
澤攸科技臺(tái)階儀JS100B
產(chǎn)品介紹
澤攸科技半自動(dòng)臺(tái)階儀JS100B是高精度測(cè)量設(shè)備，打破了國(guó)外技術(shù)壟斷，適用于半導(dǎo)體制造中的國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程。該設(shè)備采用一體花崗巖結(jié)構(gòu)，確保測(cè)量的穩(wěn)定性與可靠性。配備兩個(gè)彩色攝像頭，可無(wú)畸變地觀察樣品和針尖，實(shí)現(xiàn)特征區(qū)域精確定位。JS100B具備厚度、粗糙度、翹曲度及薄膜應(yīng)力測(cè)量功能，并支持3D掃描成像和多點(diǎn)掃描應(yīng)用，廣泛應(yīng)用于刻蝕、沉積、薄膜等領(lǐng)域。
刻蝕、沉積和薄膜等厚度測(cè)量
薄膜多晶硅等粗糙度、翹曲度等材料表面參數(shù)測(cè)量
各式薄膜應(yīng)力測(cè)量
3D掃描成像
計(jì)劃任務(wù)和多點(diǎn)掃描
應(yīng)用領(lǐng)域
產(chǎn)品組成
突破三大核心技術(shù)
產(chǎn)品特色
關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo)
案例應(yīng)用
18nm樣品
68um樣品
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